By Stephanus Büttgenbach
ISBN-10: 3322921352
ISBN-13: 9783322921352
ISBN-10: 3519030713
ISBN-13: 9783519030713
Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch genauen Strukturubertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kostengunstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be trachtet werden. Die gemeinsame technologische foundation von Mikromechanik und Mikro elektronik bietet gunstige Voraussetzungen fur die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei gende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die grosse Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente konnen durchaus in mittelstandischen Betrieben ent wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, dass diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten Uberblick uber die Moglichkeiten der Mikromecha nik besitzen. Das vorliegende Buch mochte deshalb Studierenden, Anwendern in For schung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einfuhrung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universitat Stuttgart fur Stu denten der Fakultat Konstruktions-und Fertigungstechnik hal
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Bis vor einigen Jahren konnten nur wenige Autofahrer über Funk erreicht werden. Seit der Einführung des Funktelefonnetzes C sind in der Bundesrepublik Deutschland schon über a hundred 000 Autotelefone in Gebrauch, und die geplanten D-Netze werden in Europa sogar die Teilnahme von über 10 Millionen Autofahrern ermöglichen.
Der Band Statik ist der erste Teil des vierb? ndigen Lehrbuches ? ber Technische Mechanik f? r Ingenieurstudenten aller Fachrichtungen. Ziel des Werkes ist es, das Verst? ndnis der wesentlichen Grundgesetze der Mechanik zu vermitteln und die F? higkeiten zu entwickeln, mit Hilfe der Mechanik Ingenieurprobleme zu formulieren und selbst?
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Dieses Buch pr? sentiert einen neuen konzeptionellen Rahmen und prim? r graphische Ausdrucksmittel f? r die benutzerorientierte Beschreibung von Arbeitsorganisationen mit interaktivem Rechnereinsatz. Arbeitsorganisationen werden als Rollengeflechte betrachtet, die in Kooperation mit den Rollentr? gern entwickelt werden sollten.
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Der Impfling wird unter langsamer Rotation aus der Schmelze gezogen (einige mm/min), wobei Silizium als einkristalliner Stab erstarrt. Die Dotierung erfolgt durch Zugabe von Dotierstoffen (Bor, Phosphor, Arsen, Antimon) in die Schmelze. Ein Nachteil des Tiegelziehverfahrens besteht darin, daß die Kristalle infolge der Reaktion des geschmolzenen Siliziums mit dem Quarztiegel Sauerstoff enthalten, so daß man keine hohen Werte für den spezifischen Widerstand erreicht (Obergrenze ca. 50 n· cm). 9 Prinzip des Zonenziehverfahrens (FZ) 34 Dieser Nachteil entfällt beim Zonenziehverfahren (FZ), bei dem ebenfalls in einer Schutzgasatmosphäre ein polykristalliner Siliziumstab, der vertikal in eine Halterung über einem Impfkristall eingespannt ist, durch induktive Erwärmung abschnittsweise langsam geschmolzen wird.
B. Im-Strukturen erzeugt werden [POL 87]. Die Begrenzung der Photolithographie ergibt sich aus dem Defokussierungsproblem. Im allgemeinen ist das Substrat uneben, und auch die Topographie der Strukturen sorgt für eine Defokussierung. h. je größer man die numerische Apertur des Objektivs macht, desto besser wird zwar die Auflösung, desto kleiner wird jedoch auch der Tiefenschärfebereich. 1m. B. B. Chrom). Die Herstellung der Metallmasken erfolgt in einem lithographischen Ätzprozeß. Für den Entwurfsprozeß werden CAD-Systeme mit hochauflösendem Grafikbildschirm, meist unter zusätzlicher Nutzung eines Digitalisiertableaus zur Koordinateneingabe, benutzt.
B. B. Chrom). Die Herstellung der Metallmasken erfolgt in einem lithographischen Ätzprozeß. Für den Entwurfsprozeß werden CAD-Systeme mit hochauflösendem Grafikbildschirm, meist unter zusätzlicher Nutzung eines Digitalisiertableaus zur Koordinateneingabe, benutzt. Ergebnis des Entwurfs ist eine digitale Beschreibung des entworfenen Geometriemusters. 3). Bei der Folientechnik wird der Entwurf in eine spezielle zweischichtige Kunststoffolie übertragen, die aus einer durchsichtigen Trägerfolie und einer durch Adhäsion auf dieser haftenden undurchsichtigen (roten) Folie besteht.
Mikromechanik: Einführung in Technologie und Anwendungen by Stephanus Büttgenbach
by Brian
4.5